蓝宝石抛光Template / 无蜡垫

蓝宝石抛光Template / 无蜡垫
CMPPAD无蜡抛光垫，适用于单面抛光工艺中各种尺寸的晶片生产；
多层树脂材料组成的复合结构；
内层抛光微孔膜材料，加湿后产生的附着力把晶片吸贴在其上面；
下面抗吸收、耐磨压的纤维层。一致的恒定弹性，保证晶片的平整；
背面压敏胶，很好地适于抛光工艺生产中产生的各种应力；
生产环境无沾圬，抛光垫洁净无污染